پروجیکشن پرنٹنگ
فلمی فوٹوگرافی کی طرح ، شٹر بٹن دبانے سے ، لائٹ لینس کے ذریعے فلم پر پیش کی جاتی ہے اور بے نقاب ہوتی ہے۔ اس کے بعد ، یہ تصویر "فوٹو واشنگ" کے ذریعے ترقی پذیر حل میں فلم کو بھگو کر حاصل کی گئی ہے۔ پروجیکشن لتھوگرافی اس کی اعلی کارکردگی اور غیر - تباہ کن فوائد کی وجہ سے مربوط سرکٹس کے لئے مرکزی دھارے میں لتھوگرافی ٹکنالوجی ہے۔
3A اسکیننگ پروجیکٹ پرنٹنگ
تحقیق کا آغاز 1970 کی دہائی کے آخر اور 1980 کی دہائی کے اوائل میں ہوا۔ اس لتھوگرافی مشین میں ماسک اور پیٹرن کا سائز 1: 1 ہے ، جس کا مطلب ہے کہ ماسک پر سائز فوٹوورسٹ کے پیٹرن کے سائز کی طرح ہے۔ اس کی اسکیننگ کہنے کی وجہ یہ ہے کہ روشنی ایک تنگ درار کے ذریعے سبسٹریٹ پر منتقل ہوتی ہے ، عام طور پر ایک ہی وقت میں کئی لائنوں کو بے نقاب کرتی ہے۔ ہلکی توانائی والے تمام علاقوں کو بے نقاب کرنے کے لئے سبسٹریٹ کو منتقل کرنے کی ضرورت ہے۔
خصوصیات: پروسیس نوڈس 180 ینیم سے 130 این ایم تک ، ماسک پلیٹ کا تناسب 1: 1 ، مکمل - سائز کی نمائش۔
3 بی۔ دہرانا پروجیکٹ پرنٹنگ (جسے اسٹپر بھی کہا جاتا ہے)
تحقیق کا آغاز 1980 اور 1990 کی دہائی کے آخر میں ہوا ، جس میں ایک لینس سسٹم کا استعمال کرتے ہوئے نقاب سے نمونوں کو پروجیکٹ کرنے کے لئے ایک چھوٹے سے علاقے میں سبسٹریٹ ایک ایک کرکے۔ ایک چھوٹے سے علاقے کی ہر نمائش کے بعد ، سبسٹریٹ اگلی پوزیشن میں اس وقت تک منتقل ہوجائے گا جب تک کہ پورا سبسٹریٹ بے نقاب نہ ہوجائے۔ ایک بے نقاب علاقہ 'شاٹ' ہے۔ چونکہ یہ لینس سسٹم کے ذریعہ پیش کیا جاتا ہے ، عام طور پر 365NM الٹرا وایلیٹ لائٹ کا استعمال کرتے وقت ایک 5 گنا پلیٹ استعمال کی جاتی ہے ، جس کا مطلب ہے کہ ماسک پلیٹ میں پیٹرن کا سائز اصل فوٹوورسٹ کے سائز سے 5 گنا زیادہ ہے۔ لہذا ، ماسک پلیٹ پر مزید پیچیدہ نمونوں کو ڈیزائن کیا جاسکتا ہے ، لیکن اس سے پرزم سسٹم تیار کرنے میں دشواری میں اضافہ ہوتا ہے۔
3C. اسکیننگ مرحلہ پروجیکٹ پرنٹنگ (جسے اسکینر بھی کہا جاتا ہے)
1990 کی دہائی کے آخر سے ، اس قسم کی مشین عام طور پر اعلی - اختتامی سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال کی جاتی ہے جس میں 0.18 μ m سے کم یا اس کے برابر قطر کے عمل کے لئے عمل ہوتا ہے۔ نمائش کے عمل کے دوران ، ماسک ایک سمت میں حرکت کرتا ہے جبکہ ویفر ہم آہنگی سے اس کی سمت میں کھڑے سمت میں حرکت کرتا ہے۔
خصوصیات: ہر نمائش کے لئے نظارہ کا میدان میں اضافہ ؛ سلیکن ویفرز کی ناہموار سطح کے لئے معاوضہ فراہم کریں۔ پورے سلیکن ویفر کی سائز کی یکسانیت کو بہتر بنائیں۔ تاہم ، ریورس موشن کی ضرورت کی وجہ سے ، مکینیکل نظام کی صحت سے متعلق تقاضوں میں اضافہ کیا گیا ہے۔ اسکینرز عام طور پر دیگر نمائش مشینوں کے مقابلے میں پیداوار کی اعلی کارکردگی رکھتے ہیں ، اور ان کا ڈیزائن اور مینوفیکچرنگ بہت پیچیدہ ہے۔ اسکینرز کی خریداری اور بحالی کے اخراجات بھی زیادہ ہیں۔
اعلی صحت سے متعلق ڈبل - رخا لتھوگرافی
بنیادی طور پر چھوٹے اور درمیانے درجے کے- سائز کے انٹیگریٹڈ سرکٹس ، سیمیکمڈکٹر اجزاء ، اوپٹو الیکٹرانک آلات ، سطح کے صوتی لہر والے آلات ، پتلی فلمی سرکٹس ، اور پاور الیکٹرانک آلات کی تحقیق اور تیاری کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔
ڈبل - رخا لتھوگرافی مشین میں ایک موشن کنٹرول سسٹم ، ایک امیج پروسیسنگ سسٹم ، سسٹم سافٹ ویئر ، اور ڈیٹا I/O پروسیسنگ کنٹرول یونٹ شامل ہے۔
اعلی صحت سے متعلق سنگل - رخا لتھوگرافی
لتھوگرافی مشین کے استعمال کی خصوصیات پر مبنی مختلف کالجوں ، یونیورسٹیوں ، کاروباری اداروں اور تحقیقی اداروں کے لئے ایک اعلی - صحت سے متعلق لتھوگرافی مشین تیار کی گئی ہے۔ یہ چھوٹے اور درمیانے درجے کے - سائز کے مربوط سرکٹس ، سیمیکمڈکٹر اجزاء ، اوپٹو الیکٹرانک آلات ، اور سطح کے صوتی لہر والے آلات کی تحقیق اور تیاری کے لئے استعمال ہوتا ہے۔
اس میں ایک اعلی - صحت سے متعلق سیدھ کرنے والا ورک ٹیبل ، سی سی ڈی مائکروسکوپک ڈسپلے سسٹم کا ایک دوربین الگ الگ فیلڈ ، ایک نمائش کا سر ، ایک نیومیٹک سسٹم ، ایک ویکیوم پائپ لائن سسٹم ، ایک براہ راست منسلک تیل- مفت ویکیوم پمپ ، ایک اینٹی کمپن ورک ٹیبل ، اور ایک پر مشتمل ہے۔
غیر - سرکلر سبسٹریٹس ، ٹکڑے اور ناہموار سبسٹریٹ سطحوں کی وجہ سے پلیٹوں کو الگ کرنے سے قاصر ہونے کی وجہ سے غلط فہمی کے مسئلے کو حل کریں۔
