پروڈکٹ کا جائزہ
فوٹو ریزسٹ سٹرپنگ کا سامان مکمل طور پر-خودکار گیلے-پروسیسنگ کا سامان ہے جو فوٹو ریزسٹ اسٹرپنگ اور میٹل لفٹ-آف ایپلی کیشنز کے لیے وقف ہے جو سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے ہے۔
سوک، سٹرائپر اور کلین-ڈرائی چیمبرز سے لیس، مشین مکمل ورک فلو کو مکمل کرتی ہے جس میں کیمیکل بھگونے، دھات اور فوٹو ریزسٹ کو ہٹانے، ویفر کلیننگ اور خشک کرنے کے ذریعے فوٹوریزسٹ تحلیل شامل ہے، جو خشک{-آپریشن میں خشک ہونے کا احساس کرتی ہے۔ یہ متعدد سبسٹریٹ مواد جیسے Si، Glass، Sapphire، GaAs، InP، GaN، SiC، LT اور LN کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے۔ اسٹرائپر مائع کو ملٹی-اسٹیج فلٹریشن سسٹم کے ذریعے ری سائیکل کیا جا سکتا ہے۔ اختیاری چیمبر کنفیگریشنز (1-2 سوک، 1-2 اسٹرائپر، 1-2 کلین) دونوں لیبارٹری کے R&D پائلٹ اور اعلیٰ حجم کی بڑے پیمانے پر پیداوار کی ضروریات کو پورا کرتی ہیں۔
فوائد
مکمل طور پر-خودکار خشک-خشک-آپریشن میں
خودکار ویفر کی منتقلی اور دستی مداخلت کے بغیر مکمل-عمل پر عمل درآمد۔ ثانوی ویفر کی آلودگی سے بچنے کے لیے آلے کے اندر تمام اتارنے، اٹھانے-آف، صفائی اور خشک کرنے کے مراحل مکمل ہو گئے ہیں۔
قابل اعتماد عمل کی کارکردگی
دھاتی ہٹانے کی شرح ＞99% اور فوٹو ریزسٹ اتارنے کی شرح＞99٪۔ اعلی پیداواری پیداوار کو یقینی بنانے کے لیے ذرہ کی کارکردگی 20ea@0.2μm سے کم یا اس کے برابر ہوتی ہے۔
لچکدار چیمبر حسب ضرورت
لینا، اسٹرائپر اور صاف چیمبر 1 سے 2 سیٹ تک اختیاری ہیں۔ چھوٹی-بیچ کی تحقیق اور اعلی-تھرو پٹ پروڈکشن لائنوں کے لیے کنفیگریشنز تیار کی جا سکتی ہیں۔
کیمیکل ری سائیکلنگ سسٹم
ملٹی-مرحلہ فلٹریشن اسٹرائپر مائع کی بازیابی اور دوبارہ استعمال کو قابل بناتا ہے۔ یہ کیمیکل کی کھپت اور آپریشنل لاگت کو کم کرتا ہے جبکہ ماحول دوست پیداوار حاصل کرتا ہے۔
ایپلی کیشنز
- اعلی درجے کی پیکیجنگ
- MEMS ڈیوائسز
- پاور سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز
- آر ایف انٹیگریٹڈ سرکٹس
- سیمی کنڈکٹر آپٹکس
- آپٹیکل کمیونیکیشن کے اجزاء
- یونیورسٹی اور ریسرچ انسٹی ٹیوٹ لیبارٹریز
پیرامیٹرز
|
آئٹم |
تفصیلات |
|
ماڈل |
AST سیریز |
|
عمل کی تقریب |
فوٹو ریزسٹ پٹی، میٹل لفٹ-آف |
|
سپورٹڈ سبسٹریٹس |
Si, Glass, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
|
چیمبر کی ترتیب |
1-2 لینا، 1-2 اسٹرائپر، 1-2 صاف (اختیاری) |
|
پارٹیکل کنٹرول |
20ea@0.2 μm سے کم یا اس کے برابر |
|
دھاتی ہٹانے کی شرح |
＞99% |
|
PR اتارنے کی شرح |
＞99% |
|
طول و عرض (3-چیمبر) |
2230 × 1980 × 2450 ملی میٹر (W×D×H) |
|
طول و عرض (6-چیمبر) |
3040 × 1980 × 2760 ملی میٹر (W×D×H) |
|
پروسیسنگ موڈ |
خودکار، خشک-خشک میں-خشک |
|
کیمیکل سسٹم |
اسٹرائپر مائع فلٹریشن اور ری سائیکلنگ |
اکثر پوچھے گئے سوالات
اکثر پوچھے گئے سوالات
سوال: فوٹوریزسٹ اسٹرپنگ آلات کس قسم کے ذیلی ذخیرے کو سنبھال سکتے ہیں؟
A: یہ Si، Glass، Sapphire، SiC، GaN، GaAs، InP، LN اور LT کو سپورٹ کرتا ہے۔ براہ کرم ترکیب کی جانچ کے لیے اپنا سبسٹریٹ مواد اور ویفر کا سائز فراہم کریں۔
س: خشک ہونے میں خشک ہونے کا کیا مطلب ہے؟
A: خشک حالت میں مشین میں ویفرز لوڈ کیے جاتے ہیں۔ بھیگنا، اتارنا، صفائی کرنا اور نائٹروجن خشک کرنا سبھی سامان کے اندر مکمل ہو جاتے ہیں۔ ویفر مکمل طور پر خشک ہو کر اتارے جاتے ہیں۔ گیلے ویفرز کو دستی طور پر ہینڈل نہیں کیا جاتا ہے، جو آلودگی کے خطرات کو بہت کم کرتا ہے۔
سوال: کیا اسٹرائپر مائع کو دوبارہ استعمال کیا جا سکتا ہے؟
A: ہاں۔ فوٹو ریزسٹ اسٹرپنگ کا سامان ملٹی اسٹیج فلٹریشن سرکولیشن لوپ کے ساتھ مربوط ہے۔ کیمیکل کی سروس لائف کا انحصار پیداواری تھرو پٹ اور دھات کی باقیات کے ارتکاز پر ہے۔ نظام کیمیائی حالت پر نظر رکھتا ہے اور آپریٹرز کو متبادل کے لیے یاد دلاتا ہے۔
سوال: اس گیلے لفٹ آف ٹول اور پلازما ایشر میں کیا فرق ہے؟
A: یہ سامان گیلے کیمیائی لفٹ آف عمل کو انجام دیتا ہے۔ یہ دھات کو اٹھانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے اور فوٹو ریزسٹ کے ساتھ مل کر بے کار دھات کو ہٹاتا ہے۔ پلازما ایشر ایک خشک عمل ہے جو بنیادی طور پر فوٹو ریزسٹ ایشنگ کے لیے ہے، اور یہ موٹی میٹل لفٹ آف کے لیے موزوں نہیں ہے۔
سوال: کیا لیب پر مبنی چھوٹا بیچ ورژن دستیاب ہے؟
A: ہاں۔ لچکدار چیمبر کا انتخاب تعاون یافتہ ہے۔ 1 سوک +1 سٹرائپر +1 کلین چیمبر کے ساتھ کمپیکٹ کنفیگریشن R&D مقاصد کے لیے دستیاب ہے، جبکہ ملٹی چیمبر ورژن بڑے پیمانے پر پیداوار فراہم کرتا ہے۔
سوال: ہم کس پیداواری کارکردگی کو حاصل کر سکتے ہیں؟
A: اصلاح شدہ ترکیبوں کے تحت، ذرہ کی گنتی 20ea@0.2μm سے کم یا اس کے برابر، دھاتی ہٹانے کی شرح اور PR اتارنے کی شرح دونوں 99% سے زیادہ ہیں۔ اصل پیداوار اپ اسٹریم لتھوگرافی اور دھاتی جمع کرنے کے عمل سے بھی متاثر ہوتی ہے۔ ہم پروسیس ٹیوننگ کے لیے تکنیکی مدد فراہم کرتے ہیں۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: photoresist اور دھاتی اتارنے کا سامان، چین photoresist اور دھاتی اتارنے کا سامان مینوفیکچررز، سپلائرز
