سنگل-وفر گیلے اینچنگ کا سامان

A: یہ SiOx، SiNx کے لیے ڈائی الیکٹرک ایچنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔ Cu، Ti، Au، Cr، Ni کے لیے دھات کی اینچنگ؛ اور ITO، IGZO کے لیے شفاف کوندکٹو فلم اینچنگ۔ یہ Si، SiC، GaAs، InP سبسٹریٹس پر کام کرتا ہے۔ براہ کرم اپنی ٹارگٹ فلم اور ترکیب تیار کرنے کے لیے سبسٹریٹ فراہم کریں۔

A: سنگل ویفر ٹول ایک ایک کرکے ویفرز پر کارروائی کرتا ہے۔ ہر ویفر کا کیمیائی حجم، درجہ حرارت اور اینچ ٹائم پر آزادانہ کنٹرول ہوتا ہے تاکہ ویفر کی یکسانیت بہتر ہو۔ بیچ ٹولز ایک ساتھ مل کر متعدد ویفرز پر کارروائی کرتے ہیں۔ سنگل ویفر کا سامان اعلی صحت سے متعلق، زیادہ پیداوار والے کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر اور جدید پیکیجنگ پروجیکٹس کے لیے زیادہ موزوں ہے۔

A: ہاں۔ یہ سامان ایک چیمبر کے اندر 4 مختلف کیمسٹریوں کو سپورٹ کرتا ہے۔ ہر کیمیکل کراس آلودگی سے بچنے کے لیے آزاد گردش اور ریکوری لوپ کے ساتھ چلتا ہے۔

A: نینو سپرے اور IPAN2 خشک اختیاری ہیں۔ خشک کرنے کے یہ جدید طریقے پانی کے نشان کے نقائص کو مؤثر طریقے سے کم کرتے ہیں، جو کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر اور آپٹیکل ڈیوائس مینوفیکچرنگ کے لیے اہم ہے۔

A: ہاں۔ مشین ملٹی سائز ویفر مطابقت کو سپورٹ کرتی ہے۔ کوالیفائیڈ ویفر سائز کے درمیان سوئچ کرتے وقت ہارڈ ویئر میں کسی بڑی تبدیلی کی ضرورت نہیں ہے۔

A: ہاں۔ چیمبر کی مقدار 2 سے 8 تک قابل ترتیب ہے۔ زیریں چیمبر کی گنتی کی ترتیب R&D کے لیے موزوں ہے، جبکہ اعلیٰ چیمبر کی گنتی کے ورژن بڑے پیمانے پر پیداواری لائنوں کو نشانہ بناتے ہیں۔