پروڈکٹ کا جائزہ

سنگل-وفر کیمیکل کلیننگ ایکوئپمنٹ ایک خودکار سنگل-ویفر ویٹ کلیننگ پلیٹ فارم ہے جو سیمی کنڈکٹر فرنٹ-اینڈ اور پوسٹ-پراسیس کی صفائی کی ضروریات کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ یہ سبسٹریٹ اور ایپیٹیکسیل پرت کی صفائی، فوٹو ریزسٹ سٹرپنگ، آکسائیڈ ہٹانے اور صفائی کے دیگر اہم طریقہ کار انجام دیتا ہے۔

یہ مشین کثیر-اسپرے بازو کے علاوہ فکسڈ سپرے نوزلز کو اپناتی ہے تاکہ مائع چھڑکنے کے متنوع امتزاج کو محسوس کیا جا سکے۔ مستحکم نیچے کی طرف ہوا کا بہاؤ جامد اور متحرک چیمبر ماحول دونوں کو بہتر بناتا ہے۔ ملٹی-کپ ڈھانچہ مؤثر کیمیائی علیحدگی کو حاصل کرتا ہے، اور گیس-مائع علیحدگی کا طریقہ کار نامیاتی فضلہ مائع اور DI-پانی کے اخراج کو الگ کرتا ہے۔ بلٹ-انٹیلجنٹ آٹو-کلین فنکشن اعلی-درجہ حرارت کے SPM عمل کو سپورٹ کرتا ہے اور احتیاطی دیکھ بھال کی فریکوئنسی کو کم کرتا ہے۔ یہ سامان ملٹی-سائز ویفر کی مطابقت کو سپورٹ کرتا ہے اور اس میں سبسٹریٹس جیسے Si، SiC، LN، LT، Glass، GaAs، InP اور Sapphire کا احاطہ کرتا ہے۔ 2-8 چیمبرز سے ماڈیولر چیمبر کے اختیارات لیبارٹری R&D سے لے کر اعلیٰ حجم کے بڑے پیمانے پر مینوفیکچرنگ تک کے مطالبات کو پورا کرتے ہیں۔

فوائد

شاندار صفائی کی کارکردگی

سخت ذرہ کنٹرول 10ea@0.1μm سے کم یا اس کے برابر، انتہائی-کم دھاتی آئن آلودگی 5E9 ایٹم/سینٹی میٹر تک۔ مؤثر طریقے سے ذرات، نامیاتی باقیات اور دھات کی نجاستوں کو ہٹاتا ہے تاکہ بعد کے عمل کی پیداوار کو یقینی بنایا جا سکے۔

آپٹمائزڈ چیمبر ماحولیاتی کنٹرول

چیمبر کے اندر مستحکم عمودی نیچے کا بہاؤ پارٹیکل ری-اٹیچمنٹ کو دباتا ہے۔ ملٹی-کپ ڈھانچہ کراس-آلودگی کو روکنے کے لیے مختلف کیمیکلز کو الگ کرتا ہے۔ گیس-مائع علیحدگی کا ڈیزائن نامیاتی فضلہ اور DI-پانی کو محفوظ فضلہ کو ٹھکانے لگانے کے لیے الگ کرتا ہے۔

لچکدار ملٹی-موڈ سپرےنگ سسٹم

تین سپرے بازوؤں اور ایک فکسڈ نوزل سے لیس۔ مختلف ذیلی جگہوں اور آلودگی کے حالات کے لیے صفائی کی مختلف ترکیبوں کو اپنانے کے لیے متعدد چھڑکنے کے نمونوں کو ملایا جا سکتا ہے۔

ذہین سیلف-مینٹیننس فنکشن

انٹیگریٹڈ آٹو-کلین فنکشن اعلی-درجہ حرارت SPM کی صفائی کی حمایت کرتا ہے۔ یہ دستی صفائی کے کام کا بوجھ کم کرتا ہے اور حفاظتی دیکھ بھال کے درمیان درمیانی وقت کو بڑھاتا ہے۔

درخواستیں

اعلی درجے کی پیکیجنگ
MEMS ڈیوائسز
پاور سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز
آر ایف انٹیگریٹڈ سرکٹس
سیمی کنڈکٹر آپٹکس
آپٹیکل کمیونیکیشن کے اجزاء
فوٹو ماسک مینوفیکچرنگ
یونیورسٹی اور ریسرچ انسٹی ٹیوٹ لیبارٹریز

پیرامیٹرز

آئٹم	تفصیلات
ماڈل	ACL سیریز
عمل کی تقریب	سبسٹریٹ اور ایپیٹیکسیل پرت کی صفائی، PR پٹی، آکسائڈ ہٹانا
سپورٹڈ سبسٹریٹس	Si، SiC، LN، LT، Glass، GaAs، InP، Sapphire
چیمبر کی ترتیب	2-8 چیمبرز (اختیاری)
پارٹیکل کنٹرول	10ea@0.1 μm سے کم یا اس کے برابر
دھاتی آئن آلودگی	5E9 ایٹم/cm²
سپرے یونٹ	3 سپرے بازو + 1 فکسڈ نوزل تک
کلیدی خصوصیت	خودکار-صاف، اعلی-درجہ حرارت کے SPM عمل، گیس-مائع علیحدگی کی حمایت کرتا ہے
پروسیسنگ موڈ	سنگل-وافر خودکار پروسیسنگ
طول و عرض (2-4 چیمبرز)	2560 × 2426 × 2863 ملی میٹر (W×D×H)
طول و عرض (8 چیمبرز)	5252 × 2412 × 2959 ملی میٹر (W×D×H)

اکثر پوچھے گئے سوالات

سوال: یہ واحد ویفر کیمیائی صفائی کا سامان کون سے صفائی کے کاموں کو مکمل کرسکتا ہے؟

A: یہ سبسٹریٹ اور ایپیٹیکسیل پرت کی صفائی، فوٹو ریزسٹ اسٹرپنگ، آکسائڈ لیئر کو ہٹانے اور دیگر معیاری سیمی کنڈکٹر گیلے کلین ورک فلو کو ہینڈل کرتا ہے۔ یہ لیتھوگرافی، اینچنگ اور پتلی فلم جمع کرنے کے عمل سے پہلے اور بعد میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ براہ کرم اپنا سبسٹریٹ مواد اور آلودگی کی قسم ہدایت کی ٹیوننگ کے لیے فراہم کریں۔

سوال: گیس مائع علیحدگی کے طریقہ کار کا کیا فائدہ ہے؟

A: یہ نامیاتی کیمیائی فضلہ اور DI پانی کی نالیوں کو الگ کرتا ہے۔ یہ فضلہ پائپ لائن میں کیمیکل کراس مکسنگ سے بچتا ہے، پائپ لائن کے سنکنرن کو کم کرتا ہے اور بعد میں فضلے کے مائع علاج میں سہولت فراہم کرتا ہے۔

سوال: آٹو کلین فنکشن کیا کرتا ہے؟

A: آٹو کلین ایک ذہین چیمبر سیلف کلیننگ فنکشن ہے۔ یہ چیمبر کے اندرونی حصے کے لیے اعلی درجہ حرارت کی SPM صفائی کی حمایت کرتا ہے، گہاوں کے اندر ذرہ جمع ہونے کو کم کرتا ہے اور PM مینٹیننس فریکوئنسی کو کم کرتا ہے۔

سوال: کیا مشین مختلف سائز کے ویفرز پر کارروائی کر سکتی ہے؟

A: ہاں۔ پلیٹ فارم ملٹی سائز ویفر مطابقت کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ کوالیفائیڈ ویفر سائز کے درمیان تبدیل کرنے کے لیے بڑے پیمانے پر ہارڈویئر میں ترمیم کی ضرورت نہیں ہے۔

سوال: سنگل ویفر کیمیائی صفائی اور بیچ کی صفائی میں کیا فرق ہے؟

A: سنگل ویفر کی صفائی ہر ویفر کو کیمیائی خوراک، درجہ حرارت اور عمل کے وقت پر قطعی کنٹرول کے ساتھ آزادانہ طور پر علاج کرتی ہے۔ یہ اعلی ذرہ اور دھاتی آئن کارکردگی کو حاصل کرتا ہے، جو کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹرز، آپٹیکل چپس اور اعلی درجے کے آلات کو صفائی کی سخت ضروریات کے ساتھ فٹ کرتا ہے۔ بیچ کی صفائی متعدد ویفرز کو ایک ساتھ پروسس کرتی ہے اور بڑے حجم کے معیاری سلکان ویفر کی پیداوار کے لیے زیادہ لاگت سے موثر ہے۔

سوال: کیا میں لیبارٹری کے استعمال کے لیے ایک چھوٹے چیمبر ورژن کا انتخاب کرسکتا ہوں؟

A: ہاں۔ چیمبر کی مقدار کو 2 سے 8 تک منتخب کیا جا سکتا ہے۔ کم چیمبر کی گنتی کی ترتیب R&D اور چھوٹے بیچ کے ٹرائل پروڈکشن کے لیے موزوں ہے، جبکہ چیمبر کی تعداد کے اعلی ورژن بڑے پیمانے پر پیداوار لائنوں کے لیے ہدف بنائے گئے ہیں۔

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: سنگل ویفر کیمیائی صفائی کا سامان، چین سنگل ویفر کیمیائی صفائی کا سامان بنانے والے، سپلائرز