مصنوعات کا جائزہ

یہ سنگل ویفر کلینر خاص طور پر سیمیکمڈکٹر ویفر کے کام {{0} کے لئے بنایا گیا ہے} 8 انچ سے لے کر 12 انچ تک ہر چیز کا احاطہ کرنا ، کوئی استثنا نہیں ہے۔ ہر ماڈل عین مطابق عمل کے کنٹرول (ہیٹنگ ، حراستی ، بہاؤ کی شرح) اور سیکنڈ/جی ای ایم مواصلات کے ساتھ آتا ہے ، لہذا اسے سمارٹ فیبس میں ضم کرنا ایک ہوا ہے۔ ابھی تک بہتر ، آپ کی درخواست کی جو بھی ضرورت ہے اس سے میل کھانا مکمل طور پر قابل ترتیب ہے۔

یہ ہے کہ یہ سلسلہ کس طرح ٹوٹ جاتا ہے:

SWC 100:

ذہن میں 12 - انچ وفرز کے ساتھ ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس میں 8 چیمبرز ہیں اور 4 فٹ کے ساتھ کام کرتے ہیں ، اور تمام معیاری گیلے عملوں کو سنبھالتے ہیں جس کی آپ کو دن کی ضرورت ہوگی۔

ایس ڈبلیو سی 200:

ایک اور 12 انچ مرکوز آپشن ، لیکن 8 کے بجائے بوسٹ -12 چیمبروں کے ساتھ ، 4 فوپ مطابقت کے ساتھ۔ بنیادی عمل؟ بالکل اسی طرح ایس سی 3100 کی طرح ہے ، لہذا کوئی نیا سیکھنے کا وکر نہیں ہے۔

سیکنڈ پلس:

جھنڈ میں سے ایک لچکدار۔ یہ 8 - انچ اور 12 انچ ویفرز کے ساتھ ایک جیسے کام کرتا ہے ، اور آپ چیمبر کی گنتی کو 2 سے 8 تک اپنی مرضی کے مطابق بنا سکتے ہیں۔ پاور ڈیوائس اور سلکان پر مبنی عمل کے سیٹ اپ کے ل perfect بہترین ہے۔

فوائد

◆ فارمیٹ اور کنفیگریشن لچک

SWC100 / SWC 200: اعلی حجم معیاری پیداوار کے لئے فکسڈ 12 - انچ سپورٹ (8/12 چیمبر)۔

ایس ای سی پلس: 8–12 - انچ مطابقت + حسب ضرورت چیمبرز ، مخلوط فارمیٹ/پاور ڈیوائس ورک فلو کے مطابق ڈھال رہے ہیں۔

◆ عین مطابق عمل کنٹرول

تمام ماڈلز: حرارتی/حراستی/بہاؤ/پریشر کنٹرول ، نیز اختیاری کیمسٹری (ڈی ایچ ایف ، ایس سی 1 ، وغیرہ) اور یکساں پروسیسنگ کے لئے 3EA نوزلز۔

ایس ای سی پلس: شامل ایسڈ/بیس/نامیاتی راستہ علیحدگی + کیمیائی بازیافت ، حفاظت اور لاگت کی کارکردگی میں اضافہ۔

◆ وسیع مطابقت

SWC100 / SWC 200: 12 انچ FAB انضمام کے لئے 4 فٹ کیریئر سپورٹ۔

ایس ای سی پلس: 2–4 اوپن کیسٹ/ایس ایم آئی ایف/فوپ مطابقت ، فٹنگ میراث اور جدید پروڈکشن لائنیں۔

درخواستیں

01/

SWC100 / SWC 200 (12 انچ ویفرز)

بنیادی عمل: آر سی اے کی صفائی ، گیٹ کی صفائی ، آکسائڈ اینچنگ/سٹرپنگ ، فوٹوورسٹسٹ کو ہٹانا۔

مخصوص استعمال: ذرہ/دھات/نامیاتی آلودگی کو ہٹانا ، پری/پوسٹ - صفائی ، AL/CU انٹرکنیکٹ صفائی (منطق/میموری چپس کے لئے)۔

02/

سیکنڈ پلس (8–12 انچ ویفرز)

ہدف کے آلات: سلیکن کاربائڈ/سلیکن پاور ڈیوائسز ، سلیکن - پر مبنی عمل کے آلات۔

مخصوص عمل: بیک سائیڈ پتلی/صفائی ، پتلی ویفر کی صفائی ، اعلی - درجہ حرارت H3PO4 اینچنگ ، نیز معیاری آلودگی کو ختم کرنے اور باہمی رابطے کی صفائی۔

پیرامیٹرز

تفصیلات	SWC100	ایس ڈبلیو سی 200	سیکنڈ پلس
ویفر سائز	12 انچ	12 انچ	8-12 انچ
چیمبرز	8 چیمبرز	12 چیمبرز	2-8 چیمبر (حسب ضرورت)
کیریئر مطابقت	4 فٹ	4 فٹ	2-4 کھلی کیسٹ/SMIF/foup
معاون کیمسٹری	ڈی ایچ ایف ، ایس سی 1 ، ایس سی 2 ، ڈی آئی او 3 ، ڈی آئی سی او 2 ، آئی پی اے ، این 2	ڈی ایچ ایف ، ایس سی 1 ، ایس سی 2 ، ڈی آئی او 3 ، ڈی آئی سی او 2 ، آئی پی اے ، این 2	Etchant ، sc 1+ میگاسونک ، ڈی ایچ ایف ، ڈی آئی سی او 2 ، این 2
عمل کنٹرول کی خصوصیات	حرارتی/حراستی/بہاؤ/دباؤ کنٹرول	حرارتی/حراستی/بہاؤ/دباؤ کنٹرول	حرارتی/حراستی/بہاؤ/دباؤ کنٹرول
کیمیائی سپلائی سپورٹ	N/A	N/A	سی سی ایس ایس ، ایل سی ایس ایس
راستہ کا انتظام	N/A	N/A	الگ الگ راستہ (تیزاب/بیس/نامیاتی)
اضافی خصوصیات	N/A	N/A	کیمیائی بازیافت ؛ غسل سے زیادہ گرمی کا تحفظ ؛ رساو پتہ لگانا
مواصلات پروٹوکول	سیکنڈ/منی	سیکنڈ/منی	سیکنڈ/منی

سوالات

یہ ماڈل کس ویفر سائز کی حمایت کرتے ہیں؟

SWC100 / SWC 200 صرف 12 انچ ویفرز کی حمایت کرتے ہیں۔ ایس ای سی پلس 8–12 انچ ویفرز کے لچکدار ہے۔

SWC100 اور SWC 200 میں کیا فرق ہے؟

وہ ایک ہی 12 - انچ پروسیس کی صلاحیتوں میں شریک ہیں۔

پاور ڈیوائس پروسیسنگ کے لئے کون سا ماڈل موزوں ہے؟

ایس ای سی پلس سلیکن کاربائڈ/سلیکن پاور ڈیوائسز (بیک سائیڈ پتلی ، اعلی - ٹیمپ H3PO4 اینچنگ کی حمایت کرتا ہے) کے لئے بہتر بنایا گیا ہے۔

کیا یہ سسٹم ہمارے FAB کے MEs سے مربوط ہوسکتے ہیں؟

ہاں - تمام ماڈلز فیکٹری انضمام کے لئے SECS/GEM مواصلات پروٹوکول کی مکمل حمایت کرتے ہیں۔

کیا ایس ای سیریز کیمیائی لاگت - کی خصوصیات کی حمایت کرتی ہے؟

ہاں ، اس میں کیمیائی دوبارہ دعوی کی فعالیت (ری سائیکلوں کے عمل کیمیکل) اور درجہ بند فضلہ نکاسی آب شامل ہیں۔

یہ نظام کس کیریئر کے ساتھ کام کرتے ہیں؟

SWC100 / SWC 200 استعمال 4 فٹ ؛ ایس ای سی پلس 2–4 اوپن کیسٹ/ایس ایم آئی ایف/فوپ (میراثی/جدید لائنوں کے مطابق) کی حمایت کرتا ہے۔

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: سنگل ویفر صاف ستھرا ، چین سنگل ویفر صاف ستھرا مینوفیکچررز ، سپلائرز

سنگل ویفر کلینر