پروڈکٹ کا جائزہ
SCD6 اور SCD6S کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر، پاور ڈیوائس، MEMS اور آپٹو الیکٹرانک مینوفیکچرنگ کے لیے کمپیکٹ 6 انچ خودکار اسپن کوٹر اور ڈویلپر سسٹمز ہیں۔
SCD6: پاور ڈیوائس اور ایل ای ڈی کی پیداوار کے لیے ہدف بنایا گیا ہے۔ یہ کمپیکٹ ڈھانچہ اپناتا ہے، Si، Sapphire، GaAs، GaN، SiC، InP، LT، LN جیسے سبسٹریٹس کو سپورٹ کرتا ہے، اور G-line / i-لائن کے عمل کو فٹ کرتا ہے۔
SCD6S: MEMS، RF انٹیگریٹڈ سرکٹ، آپٹیکل کمیونیکیشن اور لیبارٹری ریسرچ پر مبنی۔ یہ مواد کی مطابقت کو Glass میں پھیلاتا ہے، اور PI عمل کی صلاحیت کو جوڑتا ہے، متنوع R&D اور پائلٹ-پروڈکشن کے کاموں کے لیے اعلیٰ لچک فراہم کرتا ہے۔
دونوں ماڈلز میں چھوٹے فوٹ پرنٹ، پارٹ کی تبدیلی کے بغیر دوہری-سائز کی مطابقت، عین مطابق فوٹو ریزسٹ میٹرنگ پمپ فیڈنگ، اور ای بی آر، بی ایس آر اور نوزل آٹو-کلیننگ جیسے فنکشنز میں جامع بلٹ-کی خصوصیات ہیں۔
فوائد
مختلف منظرناموں کے لیے ماڈل کی تفریق SCD6 پاور / LED بڑے پیمانے پر-پیداوار کے لیے بہتر بناتا ہے؛ SCD6S نے PI عمل اور گلاس-MEMS، RF اور تحقیق پر مبنی صارفین کے لیے سبسٹریٹ سپورٹ-کا اضافہ کیا ہے۔
لچکدار اختیاری ماڈیول متنوع عمل کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے فوٹو ریزسٹ/ڈیولپر ٹمپریچر کنٹرول، HMDS ویپر پرائمنگ ماڈیول کو سپورٹ کرتے ہیں۔
مکمل ٹریس ایبلٹی صلاحیت آلات کی ناکامی کے لاگ اور پروسیس پیرامیٹر ریکارڈز کے لیے طویل مدتی اسٹوریج، کوالٹی ٹریسنگ اور عمل کے تجزیہ کے لیے آسان۔
لیتھوگرافی کے مستحکم معیار کو یقینی بنانے کے لیے جامع معیاری عمل کے افعال EBR، BSR، RRC، گلو نوزل آٹومیٹک موئسچرائزنگ اور کلیننگ فنکشنز میں بنائے گئے-۔
اعلی-صحت سے متعلق فوٹو ریزسٹ ڈیلیوری فوٹو ریزسٹ سپلائی، اعلی خوراک کی درستگی اور مستحکم مائع فیڈنگ کے لیے پریسجن میٹرنگ پمپ؛ ڈسپنس والیوم کے لیے آسان نسخہ سیٹ اپ۔
پیرامیٹرز
|
آئٹم |
SCD6 |
SCD6S |
|
ماڈل |
SCD6 6-انچ اسپن کوٹر اور ڈیولپر |
SCD6S 6 انچ اسپن کوٹر اور ڈویلپر |
|
ویفر سائز |
6-انچ (150 ملی میٹر)، دوہری سائز کے بغیر کسی حصے کی تبدیلی کے ہم آہنگ |
6-انچ (150 ملی میٹر)، دوہری سائز کے بغیر کسی حصے کی تبدیلی کے ہم آہنگ |
|
سبسٹریٹ مواد |
Si، Sapphire، GaAs، InP، GaN، SiC، LT، LN |
سی، گلاس، سیفائر |
|
چیمبر کنفیگریشنز |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
معاون لتھوگرافی عمل |
جی-لائن، i-لائن |
جی-لائن، i-لائن، PI |
|
آلات کا طول و عرض (W × D × H) |
1050 × 1900 × 2200 ملی میٹر |
1500 × 1450 × 2200 ملی میٹر |
|
اختیاری یونٹس |
Photoresist / ڈویلپر درجہ حرارت کنٹرول، HMDS ماڈیول |
Photoresist / ڈویلپر درجہ حرارت کنٹرول، HMDS ماڈیول |
|
فنکشنز میں کور بلٹ- |
EBR، BSR، RRC، نوزل آٹو-ہمیڈیفائی اور کلیننگ |
EBR، BSR، RRC، نوزل آٹو-ہمیڈیفائی اور کلیننگ |
|
کنٹرول موڈ |
مقامی کنٹرول، طویل-مقامی نسخہ اور فالٹ لاگ اسٹوریج |
مقامی کنٹرول، طویل-مقامی نسخہ اور فالٹ لاگ اسٹوریج |
|
سرٹیفیکیشن |
SEMI S2 کے مطابق |
SEMI S2 کے مطابق |
سوالات
س: SCD6 اور SCD6S میں کیا فرق ہے؟
A: ایس سی ڈی 6 پاور ڈیوائس اور ایل ای ڈی بڑے پیمانے پر پیداوار کے لیے موزوں ہے، جی لائن/آئی لائن پروسیس کے ساتھ متنوع کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر سبسٹریٹس (سیفائر، جی این، سی سی وغیرہ) کو سپورٹ کرتا ہے۔ SCD6S نے PI عمل کی صلاحیت اور شیشے کے سبسٹریٹ کی مطابقت کا اضافہ کیا، جو MEMS، RF IC، آپٹیکل کمیونیکیشن اور لیبارٹری کے R&D منظرناموں کے لیے زیادہ موزوں ہے۔ چیمبر کی ترتیب اور جسمانی طول و عرض بھی مختلف ہیں۔
سوال: کیا SCD6/SCD6S ویفر سائز سوئچنگ کی حمایت کرتے ہیں؟
A: ہاں۔ دونوں ماڈلز اسپیئر پارٹس کو تبدیل کیے بغیر، پروڈکٹ سوئچ ٹائم کو کم کرتے ہوئے دوہری سائز کی مطابقت کو سپورٹ کرتے ہیں۔
سوال: کون سے اختیاری ماڈیولز کو منتخب کیا جا سکتا ہے؟
A: فوٹو ریزسٹ اور ڈویلپر درجہ حرارت کنٹرول ماڈیول، HMDS پرائمنگ ماڈیول SCD6 اور SCD6S دونوں کے لیے دستیاب ہیں۔
سوال: کیا مشین عمل اور غلطی کی تاریخ کو اسٹور کر سکتی ہے؟
A: ہاں۔ کوالٹی ٹریس بیک اور پروسیس ڈیبگنگ کے لیے عمل کے پیرامیٹرز اور آلات کی غلطی کے ریکارڈ کو طویل مدتی محفوظ کیا جا سکتا ہے۔
سوال: کیا وہ بڑے پیمانے پر پیداوار کے لیے موزوں ہیں یا صرف لیب کے استعمال کے لیے؟
A: دونوں چھوٹے بیچ کی بڑے پیمانے پر پیداوار کے ساتھ ساتھ لیبارٹری R&D کی بھی حمایت کرتے ہیں۔ SCD6 پاور/ایل ای ڈی والیوم مینوفیکچرنگ کی طرف زیادہ پر مبنی ہے۔ SCD6S پائلٹ پروڈکشن اور تحقیقی منصوبوں کے لیے موزوں ہے۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: 6 انچ اسپن کوٹر اور ڈویلپر، چین 6 انچ اسپن کوٹر اور ڈویلپر مینوفیکچررز، سپلائرز
