پروڈکٹ کا جائزہ
SCD 12 سیمی کنڈکٹر لتھوگرافی کے عمل کے لیے 12-انچ خودکار اسپن-کوٹر اور ڈویلپر ٹریک کا سامان ہے۔ 300 ملی میٹر ویفر مینوفیکچرنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا، یہ ماڈیولر-آرکیٹیکچر ڈیزائن کو اپناتا ہے، جس میں لچکدار چیمبر کنفیگریشن کو سپورٹ کیا جاتا ہے۔ یہ انٹیگریٹڈ سرکٹس، ایڈوانس پیکیجنگ، پاور ڈیوائسز اور دیگر شعبوں کے لیے بڑے پیمانے پر پیداوار اور R&D منظرناموں کا احاطہ کرتے ہوئے لتھوگرافی کی نمائش کے آلات کے ساتھ ان لائن کنکشن کا احساس کر سکتا ہے۔
یہ الٹرا-پتلے اور وارپڈ ویفرز پر کارروائی کرنے کی صلاحیت رکھتا ہے، بغیر کسی حصے کی تبدیلی کے دوہری-ویفر-سائز سوئچنگ کو سپورٹ کرتا ہے، اور مرکزی دھارے کے سیمی کنڈکٹر لیتھوگرافی کے عمل کے ساتھ پوری طرح مطابقت رکھتا ہے۔
فوائد
اعلی-صلاحیت اور کمپیکٹ فوٹ پرنٹ ماڈیولر عمل-یونٹ ڈیزائن، ہائی تھرو پٹ، قیمتی صاف-کمرے کی جگہ بچاتا ہے۔ عمل کے چیمبروں کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق لچکدار طریقے سے ترتیب دیا جاسکتا ہے۔
مضبوط وارپڈ-ویفر پروسیسنگ کی قابلیت 5 ملی میٹر سے کم وار پیج والے انتہائی پتلی اور وارپڈ ویفرز کے لیے مستحکم منتقلی اور پروسیسنگ کی حمایت کرتی ہے، خاص-سبسٹریٹ مینوفیکچرنگ کے لیے مشکلات کو حل کرتی ہے۔
ہارڈ ویئر کی تبدیلی کے بغیر دوہری-سائز کی مطابقت مکینیکل-حصے کی تبدیلی کے بغیر مختلف ویفر سائز کے درمیان سوئچ کریں، تبدیلی کا وقت کم کریں اور آپریشن کی لاگت کو کم کریں۔
ان لائن-لیتھوگرافی ٹولز کے لیے تیار اختیاری انٹرفیس ماڈیول مکمل طور پر خودکار ٹریک-لیتھو ورک فلو کو محسوس کرتے ہوئے مین اسٹریم لیتھوگرافی ایکسپوژر مشینوں کے ساتھ ان- لائن ڈاکنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔
بھرپور فنکشنل-ماڈیول آپشنز اعلی-پریسیزن ہاٹ پلیٹ، آپٹیکل الائنمنٹ، WEE ویفر ایج ایکسپوژر اور دیگر اختیاری اجزاء کو سپورٹ کرتا ہے تاکہ متنوع-پروسیس کی ضروریات کو پورا کیا جا سکے۔
پیرامیٹرز
|
آئٹم |
تفصیلات |
|
ماڈل |
SCD 12 12- انچ اسپن کوٹر اور ڈیولپر |
|
ویفر سائز |
12-انچ (300 ملی میٹر)، دوہری سائز بغیر کسی حصے کی تبدیلی کے ہم آہنگ |
|
سبسٹریٹ مواد |
سی، گلاس |
|
چیمبر کنفیگریشنز |
2C2D/4C/4D/4C4D (اپنی مرضی کے مطابق) |
|
معاون لتھوگرافی عمل |
i-لائن، KrF، ArF، PI، SOG، SOC |
|
قابل اطلاق لتھوگرافی لائن چوڑائی |
90 nm سے زیادہ یا اس کے برابر |
|
زیادہ سے زیادہ تھرو پٹ |
110 WPH (نصیحت اور ترتیب پر منحصر ہے) |
|
وارپڈ ویفر مطابقت |
سپورٹ وار پیج 5 ملی میٹر سے کم یا اس کے برابر الٹرا-پتلا/وارپڈ ویفر ٹرانسمیشن اور پروسیسنگ |
|
طول و عرض (W × D × H) |
4970 × 1973 × 2460 ملی میٹر |
|
ان لائن فنکشن |
لتھوگرافی مشین سے مربوط ہونے کے لیے اختیاری انٹرفیس ماڈیول |
|
اختیاری یونٹس |
اعلی-پریزین ہاٹ پلیٹ، آپٹیکل الائنمنٹ، WEE ویفر ایج ایکسپوژر ماڈیول |
|
کنٹرول موڈ |
مقامی کنٹرول / ریموٹ فیکٹری آٹومیشن کنٹرول |
|
سرٹیفیکیشن |
SEMI S2 کے مطابق |
سوالات
اکثر پوچھے گئے سوالات
س: SCD 12 کن سبسٹریٹس اور ویفر سائز کو سپورٹ کرتا ہے؟
A: بنیادی طور پر 12 انچ (300 ملی میٹر) ویفرز کے لیے، جو Si اور Glass substrates کو سپورٹ کرتے ہیں۔ یہ اسپیئر پارٹس کو تبدیل کیے بغیر دوہرے سائز کے سوئچنگ کو سپورٹ کرتا ہے، اور 5 ملی میٹر سے کم یا اس کے برابر وار پیج کے ساتھ وارپڈ/انتہائی پتلی ویفرز پر کارروائی کر سکتا ہے۔
سوال: یہ مشین کون سے لتھوگرافی کے عمل کو چلا سکتی ہے؟
A: یہ i line، KrF، ArF، PI، SOG، SOC پروسیسز کو سپورٹ کرتا ہے، جو لتھوگرافی لائن کی چوڑائی 90 nm سے زیادہ یا اس کے برابر ہے۔
سوال: کیا SCD 12 لتھوگرافی سکینر/سٹیپر سے منسلک ہو سکتا ہے؟
A: ہاں۔ مین اسٹریم لیتھوگرافی ایکسپوزر مشینوں کے ساتھ ان لائن ان لائن ڈاکنگ حاصل کرنے کے لیے اختیاری انٹرفیس ماڈیول کا انتخاب کریں۔
سوال: انتخاب کے لیے کون سی چیمبر کنفیگریشنز دستیاب ہیں؟
A: دستیاب کنفیگریشنز: 2C2D/4C/4D/4C4D۔ صارفین اختیاری یونٹس شامل کر سکتے ہیں جن میں اعلیٰ درستگی والی ہاٹ پلیٹ، آپٹیکل الائنمنٹ، ڈبلیو ای ای، انٹرفیس ان لائن ماڈیول عمل کی ضروریات کی بنیاد پر شامل ہیں۔
سوال: اصل تھرو پٹ کیا ہے؟
A: زیادہ سے زیادہ تھرو پٹ 110 ڈبلیو پی ایچ ہے۔ چیمبر کی اصل ترتیب اور پیداواری ترکیب کے ساتھ حقیقی دنیا کا تھرو پٹ مختلف ہوتا ہے۔
سوال: کیا SCD 12 بڑے پیمانے پر پیداوار اور لیبارٹری R&D دونوں کے لیے موزوں ہے؟
A: ہاں۔ لچکدار ماڈیولر کنفیگریشن اعلیٰ حجم کی بڑے پیمانے پر پیداوار کے فیب مطالبات کو پورا کر سکتی ہے، اور تحقیقی اداروں میں چھوٹے بیچ کے R&D کام کو بھی اپنا سکتی ہے۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: 12 انچ اسپن کوٹر اور ڈویلپر، چین 12 انچ اسپن کوٹر اور ڈویلپر مینوفیکچررز، سپلائرز
