خودکار آر ٹی پی آلات: اس کا انتخاب کیسے کریں ، یہ کس کے لئے ہے ، اور کہاں چمکتا ہے

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (آر ٹی پی) گیئر ویفر کی پیداوار اور عمل مستقل مزاجی کو بناتا ہے یا توڑ دیتا ہے۔ خودکار آر ٹی پی کا سامان بڑے پیمانے پر پیداوار کے لئے بنایا گیا ہے - 8 - 12 انچ وافرز کے ساتھ کام کرتا ہے ، مکمل طور پر خودکار چلتا ہے ، اور درجہ حرارت کو اسپاٹ آن رکھتا ہے۔ لیکن صحیح ماڈل کا انتخاب ہمیشہ سیدھا نہیں ہوتا ہے ، اور یہ معلوم کرنا کہ آیا یہ آپ کے ورک فلو کو فٹ بیٹھتا ہے تو یہ مشکل ہوسکتا ہے۔ آئیے اسے سیدھے الفاظ میں توڑ دیں۔

I. صحیح ماڈل کو منتخب کرنے کے لئے تین آسان اقدامات

مرحلہ 1: اپنی پیداوار کے حجم سے شروع کریں (گہا + کیسیٹس)

سنگل - گہا (RTP -200): 1 گہا ، 2 کیسیٹس ، فی گھنٹہ 5 ویفرز پروسیس کرتے ہیں ، اور شاذ و نادر ہی ٹوٹ جاتے ہیں (ایم ٹی بی ایف 200 گھنٹے سے زیادہ یا اس کے برابر)۔ اگر آپ ایک دن میں 100 یا اس سے کم ویفر بنا رہے ہیں ، یا نئے عمل کی جانچ کر رہے ہیں تو ، یہ ایک ٹھوس شرط ہے {{6} a زیادہ خرچ کے بغیر کام انجام دیتا ہے۔

دوہری - گہا (RTP-300): 2 گہاوں ، 2 - 3 کیسیٹس ، اور زیادہ طاقت (DTS-12 ماڈل کے لئے 200 کلو واٹ تک) پیک کرتے ہیں۔ بہت اچھا ہے اگر آپ روزانہ 100 سے زیادہ ویفروں کو منور کر رہے ہیں اور اسے غیر اسٹاپ پروڈکشن کی ضرورت ہے۔ بحالی بھی تیز ہے (ایم ٹی ٹی آر 4 گھنٹے سے کم یا اس کے برابر) ، لہذا ڈاون ٹائم کم سے کم رہتا ہے۔

مرحلہ 2: اپنے وافرز اور عمل سے پیرامیٹرز کو میچ کریں

ویفر سائز: اگر آپ 8 - انچ سے 12 انچ سے لے کر 12 انچ تک سافٹ ویئر کو موافقت دیتے ہیں تو سامان تبدیل کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ اگر آپ بعد میں پیمائش کرنے کا ارادہ کر رہے ہیں تو بہت آسان ہے۔

درجہ حرارت کی ضرورت ہے:

کم - گرمی کی ملازمتیں (کمرے میں عارضی طور پر 800 ڈگری): تھرموکوپلس کا استعمال کرتا ہے ، کم - تناؤ annealing کے لئے اچھال {3 ڈگری - کے اندر اندر مستقل رہتا ہے۔

اعلی - ہیٹ ملازمتیں (500 - 1250 ڈگری): پیرومیٹرز پر انحصار کرتا ہے ، جس میں یکسانیت 600 ڈگری سے زیادہ 0.5 ٪ تک ہے۔ آئن امپلانٹیشن ایکٹیویشن یا پتلی فلم انیلنگ کے لئے ننگے وافرس-کامل کے لئے بھی تیز رفتار - 150 ڈگری /s کو گرم کرتا ہے۔

کیریئر کی قسم: ایس آئی سی کیریئرز 20 ڈگری /سیکنڈ کو نشانہ بناتے ہیں ، جبکہ ایس آئی سی - لیپت گریفائٹ والے 30 ڈگری /ایس {{3} تک جاتے ہیں جو آپ کے سیٹ اپ سے مماثل ہے اس کا انتخاب کریں۔

مرحلہ 3: یقینی بنائیں کہ یہ آپ کے موجودہ سیٹ اپ کے ساتھ اچھا کھیلتا ہے

کیسٹ کے اختیارات: ایس ایم آئی ایف (بند ، دھول - مفت) اور اوپن کیسٹ (کھلی ، رسائی میں آسان) سسٹمز - دونوں کے ساتھ کام کرتا ہے۔

سسٹم انضمام: بغیر کسی پریشانی کے اپنے EAP/MES سافٹ ویئر میں ہکس۔ اس کے علاوہ ، آپ ایک ہی کیسٹ - میں ویفرز کے ل different مختلف عمل مرتب کرسکتے ہیں اگر آپ چھوٹے - بیچ ، کسٹم رنز بنا رہے ہیں۔

حفاظت اور سراغ لگانا: صارف تک رسائی کی تین سطحیں (ڈیٹا کو محفوظ رکھتی ہیں) ، بعد میں چیکوں کے لئے تمام عمل کی معلومات کو محفوظ کرتی ہے ، اور اگر کچھ غلط ہو جاتا ہے تو - جیسے زیادہ گرمی ، پانی کی رساو ، یا وانکی پریشر۔ ایک - کلیدی ایمرجنسی اسٹاپ ایک زندگی بچانے والا ہے ، اور ویفر ٹوٹ پھوٹ انتہائی نایاب ہے (10،000 میں 1 سے کم)۔

ii. اصل میں اس سامان سے کون فائدہ اٹھاتا ہے؟

میڈیم - سے - بڑے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچررز.

سیمیکمڈکٹر پیکیجنگ/ٹیسٹنگ کمپنیاں: وافر - لیول پیکیجنگ (WLP) یا سسٹم - میں - پیکیج (SIP) کو نرم ، مستقل پروسیسنگ کی ضرورت ہے۔ اس سامان کی کم ٹوٹ پھوٹ کی شرح اور لچکدار عمل کی ترتیبات اس کو ایک بہترین فٹ بناتی ہیں۔

اعلی - الیکٹرانک مادی سازوں کو ختم کریں. 1 پی پی ایم کے تحت آکسیجن کی سطح کے ساتھ ، یہ گیئر آپ کے مواد کو خالص اور اعلی - معیار کو برقرار رکھتا ہے۔

iii. جہاں یہ بہترین کام کرتا ہے

آئی سی مینوفیکچرنگ: آئن امپلانٹیشن ایکٹیویشن اور سلائیڈ انیلنگ - دو اہم اقدامات جہاں درجہ حرارت پر قابو نہیں پایا جاسکتا ہے۔

پاور سیمیکمڈکٹر کی تیاری: ایس آئی سی اور گان ڈیوائسز کے ل high اعلی - گرمی کے علاج کو سنبھالتے ہیں ، جن کو سخت ، عین مطابق پروسیسنگ کی ضرورت ہے۔

سبسٹریٹ/ایپیٹیکسیئل ویفر پروسیسنگ: نقائص کو ہموار کرتا ہے اور تیسرے - جنرل سیمیکمڈکٹر سبسٹریٹس اور ایپیٹیکسیل وافرز میں تناؤ کو کم کرتا ہے۔

وافر - سطح کی پیکیجنگ: نازک اجزاء کو نقصان پہنچائے بغیر چپس اور ویفرز کے مابین بانڈ کو مضبوط کرتا ہے - تمام خودکار ، لہذا کوئی انسانی غلطی نہیں ہے۔

لپیٹنا

خود کار طریقے سے آر ٹی پی آلات کو منتخب کرنا تین چیزوں پر ابلتا ہے: گہاوں کو اپنی پیداوار کے حجم سے ملائیں ، آپ کے عمل کے پیرامیٹرز ، اور اس بات کو یقینی بنائیں کہ یہ آپ کے پاس موجود ہے۔ یہ ایک - سائز - فٹ - تمام ٹول نہیں ہے ، لیکن میڈیم - سے - بڑی سیمی کنڈکٹر فرموں ، پیکیجنگ/ٹیسٹنگ کی دکانیں ، اور الیکٹرانک مادی سازوں کے لئے ، اور یہ ایک قابل اعتماد ورک ہارس ہے {6 بڑے پیمانے پر - پروڈکشن ملازمتیں۔ اگر آپ انیلنگ کے عمل کو اپ گریڈ کررہے ہیں ، اسکیلنگ ، یا صرف زیادہ مستقل مزاجی کی ضرورت ہے تو ، یہ سامان قریب سے دیکھنے کے قابل ہے۔