مصنوعات کا جائزہ
نیس - ٹیک نے تین پی ای سی وی ڈی ماڈلز - ڈپومیریٹس پی ای 200 ، پیئ 200 ، اور پیئ 200 - کو تیار کیا ہے اور وہ ایک ساتھ مل کر ایک پروڈکٹ میٹرکس تشکیل دیتے ہیں جس میں ہر کلیدی منظر نامے کا احاطہ کیا گیا ہے: لیبر ریسرچ سے لے کر بڑے پیمانے پر پیداواری رنز تک۔
ان تینوں کے بارے میں بہترین حصہ؟ وہ ایک ہی چٹان - ٹھوس بنیادی صلاحیتوں کا اشتراک کرتے ہیں ، لہذا آپ کو مطابقت پذیر سر درد کا سامنا نہیں کرنا پڑے گا۔ چاہے آپ 6 - انچ ، 8 - انچ ، یا 12 انچ کے سبسٹریٹس کے ساتھ کام کر رہے ہیں ، وہ اسے سنبھالتے ہیں۔ اور مادی لحاظ سے ، وہ ورسٹائل بہت سی ، سی آئی سی ، گاس ، گان ، یہاں تک کہ شیشے کے وافرز بھی ہیں ، وہ سب بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتے ہیں۔
عمل کا درجہ حرارت ایک اور مضبوط سوٹ ہے: 75 سے 420 ڈگری ، مستحکم کنٹرول کے ساتھ ، جس کا مطلب ہے کہ وہ باقاعدہ PECVD ملازمتوں اور ان مشکل کم - درجہ حرارت کے عمل دونوں سے نمٹتے ہیں جو اضافی صحت سے متعلق مطالبہ کرتے ہیں۔ خصوصی کاموں کے ل different مختلف سسٹم کے مابین مزید سوئچنگ نہیں۔
لیکن وہ ایک نہیں ہیں - سائز - fits - all. ہر ماڈل کو مخصوص ضروریات - کو کم - حجم ، پیچیدہ R & D کام ، دیگر اعلی - صلاحیت کی پیداوار لائنوں کے لئے کچھ کے لئے موافقت کی جاتی ہے۔ لہذا چاہے آپ ابھی ابتدائی - مرحلے کے تجربات سے شروعات کر رہے ہو یا ہلچل مچانے والی فیب چلا رہے ہو ، آپ کے لئے C180 سیریز میں بالکل ٹھیک فٹ ہے۔
فوائد
1. منظر نامہ موافقت: مکمل - لنک کوریج
پیئ 100 (سائنسی تحقیق)
کمپیکٹ ڈیزائن ، فرش کی جگہ کو بچاتا ہے ، کوئی پیچیدہ معاون چیمبر نہیں۔ لیب کی فوری تعیناتی کو قابل بناتا ہے ، چھوٹے - بیچ ، ملٹی - مختلف قسم کے R & D کی ضروریات کو فٹ بیٹھتا ہے ، اور جگہ/لاگت کی سرمایہ کاری کو کاٹتا ہے۔
PE 200 (چھوٹا - بیچ کی تیاری)
ایس ایم ایز کے لئے صلاحیت اور سائز میں توازن۔ بنیادی سبسٹریٹ پری پروسیسنگ اور سیدھ کی حمایت کرتا ہے ، "کم ان پٹ ، اعلی عمل استحکام" کے مطالبات کو پورا کرتا ہے۔
PE 300 (بڑی - پیمانے کی پیداوار)
مکمل ماس - پروڈکشن کنفیگریشن۔ سبسٹریٹ ٹرانسفر کی کارکردگی اور ٹھنڈک کی کارکردگی کو فروغ دیتا ہے ، آؤٹ پٹ کو زیادہ سے زیادہ کرتا ہے۔ اعلی - صلاحیت ، اعلی - استحکام کی ضروریات کے ل stiply مستحکم ، لمبی - سائیکل عمل کی حمایت کرتا ہے۔
2. بنیادی عمل کی صلاحیتیں: کم عارضی ، کم نقصان ، اعلی لچک
کم - نقصان کا عمل
کسٹم ایس ایچ ڈی کنڈکٹیو انٹرفیس + AE 13.56MHz RF بجلی کی فراہمی (ہیلو فنکشن)۔ کم سے کم 15W آؤٹ پٹ ، 0.016W/CM² پاور کثافت - آلہ کو پہنچنے والے نقصان سے بچتا ہے ، جو حساس سیمیکمڈکٹرز کے لئے مثالی ہے۔
تناؤ کی آواز
Ae دوہری - تعدد RF (13.56MHz + 400 kHz)۔ SIH4 - پر مبنی گناہ کا عمل +500 ~ -1000MPA تناؤ کی حد کو حاصل کرتا ہے ، جو آلہ سے متعلق فلمی تناؤ کی ضروریات کو پورا کرتا ہے۔
اعلی یکسانیت اور مطابقت
سایڈست حرکت پذیر مرحلہ فلم کی موٹائی کی یکسانیت کو یقینی بناتا ہے۔ آئی جی ایس گیس پینل (10x گیس لائنز + ٹی ای او ایس) ایک چیمبر میں ایس آئی ایچ 4 - پر مبنی ایس آئی او/گناہ اور ٹی ای او ایس پر مبنی یو ایس جی کی حمایت کرتا ہے ، جس سے سوئچنگ ٹائم کو کم کیا جاتا ہے۔
درخواستیں
- سائنسی تحقیق (PE 100-led):یہ یونیورسٹیوں ، ریسرچ انسٹی ٹیوٹ ، اور آر اینڈ ڈی - مرکوز کمپنیوں کے لئے ہے۔ چاہے آپ بنیادی پی ای سی وی ڈی اسٹڈیز کر رہے ہو ، نئے مواد کی فلمی خصوصیات کی جانچ کر رہے ہو (جیسے III - v سیمیکمڈکٹرز) ، یا MEMS ڈیوائس کے ڈھانچے - کی تصدیق کرنا یہ تحقیقی ٹیموں کو مستحکم ، قابل اعتماد لیب پلیٹ فارم فراہم کرتا ہے۔
- میڈیم اور چھوٹا - پیمانے کی تیاری (PE 200-led):چھوٹے اور درمیانے سیمیکمڈکٹر کاروبار کے ل perfect بہترین فٹ۔ یہ چھوٹے - بیچ رنز کے پاور ڈیوائسز اور غیر فعال فوٹوونک ڈیوائسز کے علاوہ بی پی ایس جی اور ایف ایس جی جیسے ٹی سی - آری فلٹرز کو سنبھالتا ہے۔ میٹھی جگہ؟ لاگت کی بچت کے ساتھ صرف صحیح صلاحیت کو متوازن کرنا۔
- بڑے - پیمانے کی تیاری (PE 300-led):بڑے کھلاڑیوں کے لئے بنایا گیا - سوچو میجر آئی سی ، فوٹو وولٹک ماڈیول ، اور ایڈوانسڈ ایم ای ایم ایس مینوفیکچررز۔ یہ کلیدی اجزاء کی بڑے پیمانے پر پیداوار کو طاقت دیتا ہے: ٹی ایس وی لائنر ، کیو بازی رکاوٹیں ، اور پی وی - ایس آئی فلمیں۔ اور یہ اے پی فیلڈز میں بھی اعلی - استحکام فلم کا مطالبہ ہے ، جس میں بنیادی آلات سے لے کر - ایج مینوفیکچرنگ تک ہر چیز کا احاطہ کیا گیا ہے۔
پیرامیٹرز
|
زمرہ |
پیرامیٹر |
تفصیلات |
|
سبسٹریٹ مطابقت |
ویفر سائز |
6 {- انچ / 8 انچ / 12 انچ (معیاری موٹائی اور بانڈنگ مینڈی مینڈی وافرز کے ساتھ ہم آہنگ) |
|
سبسٹریٹ مواد |
ایس آئی ، ایس آئی سی ، گاس ، گان ، شیشے کی وافر |
|
|
درجہ حرارت پر قابو پانا |
درجہ حرارت کی حد پر عمل کریں |
75 ڈگری ~ 420 ڈگری (کم - درجہ حرارت اور روایتی عمل کا احاطہ کرتا ہے ، نیم عمل کی مطابقت کی ضروریات کو پورا کرتا ہے) |
|
- میں درجہ حرارت کی یکسانیت میں |
< 3℃ (for 6-inch/8-inch wafers, based on 1-Piece AlN-coated Platen) |
|
|
ویکیوم اور گیس کا نظام |
گیس پینل کی تشکیل |
آئی جی ایس گیس پینل ، 10 × گیس لائنز + ٹی ای او کی حمایت کرتا ہے |
|
گیس کی مطابقت پر عمل کریں |
سیہ ، N₂O ، NH₃ ، N₂ ، H₂ ، B₂H₆ ، Ph₃ ، Sif₄ ، O₂ ، وہ ، اے آر ، این ایف ₃ |
|
|
ویکیوم لیول |
بیس پریشر 5 × 10⁻⁶ ٹور سے کم یا اس کے برابر ؛ عمل دباؤ کی حد: 1 ~ 10 ٹور (سیمی E113 معیار کا حوالہ دیا گیا) |
|
|
ریڈیو فریکوینسی (آر ایف) سسٹم |
RF بجلی کی فراہمی کی قسم |
AE دوہری - تعدد RFG (HF + LF) ، سیمی E113 کارکردگی کے معیار کے مطابق |
|
تعدد اور بجلی کی حد |
HF: 13.56 میگاہرٹز (5 ~ 3000W ، ہیلو فنکشن کی حمایت کرتا ہے) ؛ ایل ایف: 400 کلو ہرٹز (300 ~ 500 کلو ہرٹز ایڈجسٹ ، 15 ~ 1250W) |
|
|
کلیدی اجزاء |
شاور ہیڈ (SHD) |
350 ملی میٹر مکمل کوریج ؛ خصوصی کوندکٹو انٹرفیس ؛ ملٹی - عمل کی ضروریات کے ساتھ ہم آہنگ |
|
پلاٹین |
1 - ٹکڑا Aln - لیپت ؛ عمل کی اصلاح کے ل Sh شڈ-پلاٹین گیپ ایڈجسٹ (6 ~ 20 ملی میٹر) |
سوالات
س: PECVD سیریز کے ساتھ کون سے سبسٹریٹ سائز اور مواد مطابقت رکھتے ہیں؟
A: تمام ماڈلز (PE 100/PE 200/PE 300) 6 - انچ ، 8 انچ ، اور 12 انچ وافر (جس میں معیاری موٹائی اور بانڈنگ مٹھے ہوئے وافرز بھی شامل ہیں) کی حمایت کرتے ہیں ، جو ایس آئی ، ایس آئی سی ، گاس ، گان ، اور شیشے کی وافر کے ساتھ مطابقت رکھتے ہیں۔
س: ان آلات کا عمل درجہ حرارت کی حد کتنی ہے؟
A: درجہ حرارت 75 ڈگری ~ 420 ڈگری پر محیط ہے ، جس میں کم - درجہ حرارت اور روایتی PECVD عمل کی ضروریات دونوں کا احاطہ کیا گیا ہے۔
س: درخواست کے منظرناموں میں تینوں ماڈل کیسے مختلف ہیں؟
A: PE 100 (کمپیکٹ ڈیزائن) R&D کے لئے ہے۔ PE 200 (3 بجے کے چیمبرز) چھوٹے چھوٹے - بیچ کی پیداوار ؛ PE 300 (شام 4 بجے کے چیمبرز + ڈوئل لوڈ لاک) بڑے - پیمانے پر بڑے پیمانے پر پیداوار کے لئے بہتر بنایا گیا ہے۔
س: آلات کون سے بنیادی عمل کے فوائد پیش کرتے ہیں؟
A: کلیدی طاقتوں میں کم - نقصان (کم سے کم. 15 W RF آؤٹ پٹ) ، تناؤ کی آواز (+500 ~ - 1000 MPa Sih₄ پر مبنی گناہ کے لئے) اور اعلی فلم کی یکسانیت شامل ہے (+500 ~- 1000 MPa) شامل ہیں۔<3% 1σ for 8-inch wafers).
س: چیمبروں کے لئے کون سے صفائی کے حل دستیاب ہیں؟
A: Optional MKS Paragon RPS system with NF₃ gas (dissociation rate >95 ٪) ، sih₄ - ~ 4.2 μm/منٹ پر مبنی SIO کی صفائی کرنا ؛ روایتی CF₄ - - میں مبنی سیٹو کی صفائی بھی معاون ہے۔
س: آلات کتنی گیس لائنوں کی حمایت کرتے ہیں؟
A: ایک IGS گیس پینل سے لیس ، جس میں 10 × GASSLINES + TEOS تک ملٹی - عمل کی مطابقت کی حمایت کی جائے۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: پی ای سی وی ڈی کا سامان ، چین پی ای سی وی ڈی سازوسامان مینوفیکچررز ، سپلائرز
