مصنوعات کا جائزہ
ایل پی سی وی ڈی (کم پریشر کیمیائی بخارات جمع) ایک بنیادی سیمیکمڈکٹر پروسیس ٹیک - کم - دباؤ کی شرائط کے تحت ، یہ گیسوں کے مرکبات کو رد عمل کے ل hat گرم کرتا ہے ، جس سے ذیلی سطحوں پر مستحکم ٹھوس پتلی فلمیں جمع ہوتی ہیں۔ یہ بنیادی طور پر سلیکن نائٹریڈ ، سلیکن آکسائڈ ، اور پولی کرسٹل لائن سلیکن جیسی کلیدی فلمیں بنانے کے لئے استعمال ہوتا ہے ، اور مربوط سرکٹس ، اوپٹ الیکٹرانک آلات اور اسی طرح کے شعبوں کی بنیادی عمل کی ضروریات میں بالکل فٹ بیٹھتا ہے۔
ایکسویل کے آزادانہ طور پر افقی اور عمودی ایل پی سی وی ڈی ماڈل دونوں اعلی - صحت سے متعلق درجہ حرارت کنٹرول اور ٹاپ - نوچ فلم کی یکسانیت کے ساتھ کھڑے ہیں۔ چاہے آپ آر اینڈ ڈی کی توثیق کر رہے ہو یا بڑے - پیمانے کی پیداوار کو بڑھا رہے ہو ، وہ آپ کو کور کر چکے ہیں۔ افقی ایل پی سی وی ڈی آکسیکرن ، بازی ، انیلنگ ، اور دیگر عملوں کے مابین آسانی سے - بیچ کی پیداوار اور 8 انچ اور چھوٹے ویفرز پر عمل کی جانچ پڑتال کے لئے بہترین ہے۔
عمودی ایل پی سی وی ڈی ایک ماڈیولر ڈیزائن کے علاوہ خودکار انضمام کے لئے جاتا ہے ، جس میں 6 - 12 انچ وافر چشمی کا احاطہ ہوتا ہے۔ یہ ذہین پروڈکشن لائنوں کے لئے بہتر فٹ ہے جس کو موثر جمع کرنے کی ضرورت ہے۔ ایک ساتھ ، یہ دونوں ماڈل سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لئے مستحکم ، قابل اعتماد کم - دباؤ جمع کرنے کے حل فراہم کرتے ہیں۔
درخواستیں
دونوں ماڈلز انٹیگریٹڈ سرکٹس (آئی سی ایس) ، اوپٹولیکٹرونک ڈیوائسز ، اور وسیع - بینڈ گیپ سیمیکمڈکٹر فیلڈز - میں R & D کی توثیق سے لے کر مکمل - پیمانے پر بڑے پیمانے پر پیداوار میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔
آئی سی مینوفیکچرنگ:
سی ایم اوز ، آئی جی بی ٹی ، اور اسی طرح کے چپس کے لئے گیٹ آکسائڈس اور انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک تیار کرتا ہے۔ یہ یقینی بنانے کے لئے یہ ایک اہم قدم ہے کہ چپ کی کارکردگی نشان سے ٹکرا جاتی ہے۔
آپٹولیکٹرونک پروڈکشن:
وی سی ایس ای ایل ڈیوائسز کے لئے آپٹیکل فلموں کا ذخیرہ ، بہتر کام کرنے کے لئے آپٹیکل اور الیکٹریکل دونوں خصوصیات کو ٹویٹ کرتے ہیں۔
وسیع - بینڈ گیپ پروسیسنگ:
سلیکن کاربائڈ (sic) پتلی - فلم جمع کے ساتھ بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا ہے ، جو اعلی - درجہ حرارت کی طاقت کے آلات کی ضروریات کو مماثل کرتا ہے۔
سائنسی تحقیق:
چھوٹے - بیچ کے تجربات - کی حمایت کرتا ہے چاہے آپ لتیم نیوبیٹ جیسے نئے مواد کی جانچ کر رہے ہو یا کوانٹم چپ فلم جمع کرنے جیسے نئے عمل۔
فوائد
1. اعلی - کوالٹی جمع: پیشہ ورانہ درجہ حرارت پر قابو پانے اور صاف چیمبرز کی ضمانت یکساں فلم جمع - افقی ماڈل ± 2 ٪ یکسانیت سے کم یا اس کے برابر مارتے ہیں ، جو عمودی ± 3 ٪ سے کم یا اس کے برابر ہیں۔
2. مضبوط موافقت: متعدد پتلی - فلم کی اقسام اور مختلف ویفر سائز (افقی میکس 8 انچ پر افقی میکس ، عمودی 6-12 انچ کا احاطہ کرتا ہے) کو سنبھالتا ہے۔
3. مستحکم آپریشن: افقی ماڈل کی پختہ ڈھانچہ اور دونوں ماڈلز کا قابل اعتماد ڈیزائن انہیں طویل سفر کے لئے مستقل طور پر چلانے دیتا ہے ، اور ٹائم ٹائم کو کم کرتا ہے۔
4. لچکدار عمل سوئچنگ: آکسیکرن ، بازی ، اینیلنگ ، اور دیگر عملوں کے درمیان آسانی سے پلٹ جاتا ہے - ملٹی - عمل کی توثیق کے کام کے لئے کامل۔
5. ماڈیولر اور خودکار: ماڈیولر ڈیزائن اور خودکار انضمام کے ساتھ بنایا گیا ، وہ ذہین پروڈکشن لائنوں سے آسانی سے جڑتے ہیں۔ عمودی ماڈل 12 انچ ویفر بڑے پیمانے پر پیداوار کی ضروریات میں بھی فٹ بیٹھتا ہے۔
پیرامیٹرز
|
ویفر سائز |
6-12 انچ |
|
درجہ حرارت کی حد |
500 ڈگری -800 ڈگری |
|
درجہ حرارت پر قابو پانے کی |
± 0.5 ڈگری سے کم یا اس کے برابر |
|
فلیٹ زون |
300-1000 ملی میٹر حسب ضرورت |
|
فلم کی موٹائی کی یکسانیت |
Wiw سے کم یا اس کے برابر ± 3 ٪ ؛ WTW سے کم یا اس کے برابر ± 3 ٪ |
سوالات
جب بات ویفر سائز کی مطابقت کی ہو تو ، افقی اور عمودی ایل پی سی وی ڈی کے درمیان اہم فرق کیا ہے؟
افقی ایل پی سی وی ڈی 8 - انچ وافرز اور اس سے چھوٹے کے ساتھ کام کرتا ہے ، جبکہ عمودی ایل پی سی وی ڈی ایک وسیع رینج - 6 سے 12 انچ کا احاطہ کرتا ہے۔ یہ عمودی ماڈل کو بڑے پیمانے پر تیار کرنے والے بڑے سائز کے ویفروں کے ل a ایک بہتر انتخاب بناتا ہے۔
کیا دونوں سسٹم سلیکن نائٹرائڈ ، سلیکن آکسائڈ ، اور پولی کرسٹل لائن سلیکن سے آگے پتلی فلمیں جمع کر سکتے ہیں؟
ابھی ، وہ تین پتلی فلمیں ان کی بنیادی توجہ کا مرکز ہیں۔ لیکن اگر آپ کو خصوصی فلموں کی ضرورت ہو تو ، ہم آپ کی مخصوص عمل کی ضروریات کی بنیاد پر کسٹم حل پر کام کرسکتے ہیں۔
یہ دو ایل پی سی وی ڈی آلات کس درجہ حرارت کی حد میں کام کرتے ہیں؟
وہ 500 ڈگری اور 800 ڈگری کے درمیان چلتے ہیں۔ یہ حد زیادہ تر مرکزی دھارے میں شامل سیمیکمڈکٹر پتلی فلموں کے لئے کم - دباؤ کیمیائی بخارات جمع کرنے کے عمل کے ساتھ بالکل فٹ بیٹھتی ہے۔
سائنسی تحقیقی اداروں کے لئے ، کون سا LPCVD آپشن بہتر کام کرتا ہے؟
افقی ایل پی سی وی ڈی یہاں جانے کا طریقہ ہے۔ یہ آکسیکرن ، بازی ، اور اینیلنگ - جیسے چھوٹے چھوٹے - بیچ ریسرچ پروجیکٹس کی متنوع ضروریات کو پورا کرنے کے ل super انتہائی آسان عمل کے مابین تبدیل ہوسکتا ہے۔
آپ یہ کیسے یقینی بناتے ہیں کہ ان دونوں آلات سے پتلی فلمیں یکساں ہیں؟
دونوں عین مطابق درجہ حرارت پر قابو پانے کے نظام کے ساتھ آتے ہیں ، جو کم - دباؤ والے ماحول میں مستحکم ٹیمپس کی کلید ہے۔ افقی ایک کے ل we ، ہم یکسانیت کو بڑھانے کے لئے عمل کے پیرامیٹرز کو موافقت دیتے ہیں۔ عمودی ماڈل مربوط ہوا کے بہاؤ اور درجہ حرارت کے فیلڈ ڈیزائن کا استعمال کرتا ہے۔ عام طور پر ، افقی ہٹ ± 2 ٪ یکسانیت سے کم یا اس کے برابر ، ± 3 than سے کم یا اس کے برابر عمودی۔
کیا دونوں آلات ذہین پروڈکشن لائنوں کے ساتھ اچھا کھیلتے ہیں؟
عمودی ایل پی سی وی ڈی خودکار انضمام کے لئے بنایا گیا ہے ، لہذا یہ ذہین لائنوں میں بالکل فٹ بیٹھتا ہے اور کارکردگی کو بڑھاتا ہے۔ افقی ایل پی سی وی ڈی عمل کے لچک کو ترجیح دیتا ہے ، لہذا یہ سمارٹ سسٹمز - کے ساتھ کم مربوط ہے لیکن اس میں اب بھی بنیادی پیداوار اور آر اینڈ ڈی کی ضروریات کا احاطہ کیا گیا ہے۔
ان دونوں آلات کو کتنی بار دیکھ بھال کی ضرورت ہے؟
عام طور پر ، ہر 6 سے 12 ماہ - کی دیکھ بھال کی ضرورت ہوتی ہے جیسے گہا کو صاف کرنا اور درجہ حرارت پر قابو پانے کے نظام کو کیلیبریٹ کرنا۔ عین وقت کا انحصار اس بات پر ہوتا ہے کہ آپ اسے کتنی بار استعمال کرتے ہیں اور آپ کے عمل کتنے پیچیدہ ہوتے ہیں ، لیکن ہمارے بعد -} سیلز ٹیم باقاعدگی سے یاد دہانی بھیجے گی۔
کیا افقی ایل پی سی وی ڈی صرف آر اینڈ ڈی کے لئے ہے ، یا یہ بڑے پیمانے پر پیداوار کو بھی سنبھال سکتا ہے؟
یہ دونوں اچھی طرح سے کرتا ہے۔ یہ چھوٹے - بیچ آر اینڈ ڈی کے ل enough کافی لچکدار ہے ، اور اس کا پختہ ، قابل اعتماد ڈھانچہ (مارکیٹ میں ثابت) بھی 8 - انچ کی بڑے پیمانے پر پیداوار کی حمایت کرتا ہے اور سیٹ اپ کے ل smaller چھوٹے ویفرز گریٹ جس میں ایک سے زیادہ عمل کی ضرورت ہوتی ہے۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: ایل پی سی وی ڈی آلات ، چین ایل پی سی وی ڈی سازوسامان مینوفیکچررز ، سپلائرز
