مصنوعات کا جائزہ

اچھا -} tech '8 - انچ ICP - CVD سسٹم 8 - انچ وافرز پر پتلی - فلم جمع کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ دلکش جوڑے (آئی سی پی) کے ذریعہ اعلی کثافت پلازما پیدا کرتا ہے اور کیپسیٹو جوڑے (سی سی پی) کے ذریعہ تعصب قائم کرتا ہے ، جس سے کم درجہ حرارت جمع کرنے کو قابل بناتا ہے۔

نیم معیارات کے مطابق ، یہ یونیورسل 8 انچ ایف اے بی کے اجزاء کا استعمال کرتا ہے اور اس نے استحکام کے سخت ٹیسٹ پاس کیے ہیں۔ یہ نظام 8/6 انچ ویفرز (اختیاری الیکٹروڈس کے ذریعے) کی حمایت کرتا ہے ، جس میں بڑے پیمانے پر پیداوار اور متنوع عمل کی ضروریات کو موزوں کیا جاتا ہے۔

فوائد

کم - درجہ حرارت اور اعلی - کثافت جمع

ذخیرہ اعلی - کثافت والی فلموں پر<120°C, comparable to LPCVD films grown at 750°C, avoiding high-temperature damage to wafers.

اعلی فلم کی کارکردگی

رساو موجودہ کثافت ALD - تیار کردہ فلموں سے ملتی ہے ، جس سے آلہ برقی استحکام اور وشوسنییتا کو یقینی بناتا ہے۔

اعلی - پہلو - تناسب بھرنا

گہرے سوراخوں/نالیوں کی یکساں بھرنے کے قابل بناتا ہے ، پیچیدہ ڈھانچے میں ناہموار بھرنے کے مسائل کو حل کرتا ہے۔

لچکدار مطابقت

8/6 انچ ویفرز کے ساتھ کام کرتا ہے۔ معیاری حصے بحالی کے اخراجات کو کم کرتے ہیں اور موجودہ لائنوں کے ساتھ انضمام کو کم کرتے ہیں۔

درخواستیں

01/

موصل پرت جمع کرنا
8 انچ منطق/میموری ڈیوائسز (جیسے ، ڈرم ، نینڈ) کے لئے۔ اجزاء کے مابین قابل اعتماد برقی موصلیت کو یقینی بنانے کے لئے سائی ₂/sinₓ موصل پرتوں کو جمع کرتا ہے۔

02/

اعلی - پہلو - تناسب کا ڈھانچہ بھرنا
پاور سیمیکمڈکٹرز اور ایم ای ایم ایس میں لاگو ہوتا ہے۔ آلہ کی ساختی سالمیت کو بڑھانے کے ل high اعلی صحت سے متعلق گہری خندقوں/گہاوں کو بھرتا ہے۔

03/

اعلی درجے کی پیکیجنگ جمع
8 - انچ ویفر سطح کی پیکیجنگ (WLCSP ، SIP) میں استعمال کیا جاتا ہے۔ پیکیجنگ کی وشوسنییتا کو مستحکم کرنے کے لئے موصلیت/حفاظتی فلموں کے ذخائر۔

04/

خصوصی فنکشنل فلم کی تیاری
خصوصی فنکشنل فلمیں تیار کرتی ہیں: فوٹوڈیٹریکٹرز کے لئے اینٹی - عکاس کوٹنگز (روشنی کی جذب کو فروغ دیں) اور کم - آریف آلات (سگنل کی سالمیت کو یقینی بنائیں) کے لئے کم- نقصان ڈائیلیٹرک فلمیں۔

پیرامیٹرز

زمرہ	8 - انچ ICP-CVD سسٹم
وافر مطابقت	8 انچ (پرائمری) ؛ 6 انچ (اختیاری ، مطابقت پذیر الیکٹروڈ کے ذریعے)
جمع درجہ حرارت	120 ڈگری سے کم یا اس کے برابر (کم - درجہ حرارت کا عمل)
پلازما جنریشن	دلکش جوڑے پلازما (آئی سی پی) + کیپسیٹیو کپلنگ پلازما (سی سی پی)
فلمی کثافت	LPCVD فلموں سے موازنہ 750 ڈگری پر بڑھ گیا ہے
فلمی رساو موجودہ	جوہری پرت جمع (ALD) کے ذریعہ تیار کردہ فلموں کے برابر
اعلی - پہلو - تناسب بھرنے کی گنجائش	گہرے سوراخوں/نالیوں کے لئے یکساں بھرنا (جدید سیمیکمڈکٹر ڈھانچے کے لئے موزوں)
جمع شدہ مواد	Sio₂ ، sinₓ ، اور دیگر فنکشنل فلمیں (عمل کی ضروریات پر مبنی حسب ضرورت)
پروسیس چیمبر	اعلی - ویکیوم ڈیزائن (خالص فلم کی تشکیل اور مستحکم جمع کو یقینی بناتا ہے)
صنعت کی تعمیل	نیم معیارات کے مطابق ؛ 8 انچ ویفر فیب پروڈکشن لائنوں کے ساتھ ہم آہنگ
کلیدی اجزاء	بین الاقوامی معیاری حصے (بحالی کی دشواری اور لاگت کو کم کرتا ہے)